반도체공학부 실습실 현황
| No | 실습실명 | 위치 | 주요장비 | 운영 교과목 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 제어계측자동화 실습실 | P동 510호 | Labview, DAQ, 제어계측 | 제어계측공학, 종합설계1/2 |
| 2 | 반도체광기술 집적실습실 | P동 202호 | 진공열증착기, 저온PL측정시스템, 저온 프로브스테이션, LIV용 probe Station, 현미경(광학, 편광, 형광), 단색광제조장치, 광간섭두께측정장치, 스펙트로미터, Mask Aligner 등 | 광전자기초실험, 반도체광계측실험, 반도체 광기술공학, EH교과(ICT디바이스물성분석), 종합설계1/2 |
| 3 | 광학설계실 | P동 203호 | 설계용PC 42대, 광설계 S/W, SolidWorks, Matlab 등 | 프로그래밍언어실습, 반도체장비설계제도, 응용광학계설계, 수리물리, 반도체검사광학계설계, 반도체설비조명계설계, 종합설계1/2 |
| 4 | 반도체재료소자 실험실 | P동 204호 | 박막증착장비, DI water 제조기, 반도체Fab설비 | 나노전자공학, 나노전자소자실험, EH교과(CVD/PVD공학), 종합설계1/2 |
| 5 | 차세대반도체소자 실험실 | P동 205호, 창보센터 107호 |
고온Hall 측정, 반도체 DC analyser, PL mapping 장비, Micro/Macro-PL, DXRD, LED tester, Simulator, MOCVD/반도체Fab설비 |
반도체소자실험, 종합설계1/2 |
| 6 | 박막실습실 | P동 102호 | Sputter, PEO 등 | 박막실습, 종합설계1/2 |
| 7 | 회로 및 소자 계측 실습실 | P동 206호 | 파라메터 분석기(parameter analyzer), LCR meter, Function generator, Oscilloscope, Probe Station |
회로이론및실습, 전자소자계측공학, 반도체전자회로실습, 종합설계1/2 |
| 8 | 엔지니어링 마에스터 융합실습실(Ⅱ) | P동 201호 | 레이저 리소그래피 설비, 광스펙트럼 측정/분석장비, 반도체광학 시뮬레이션 컴퓨터 및 S/W |
반도체광학구조실습, 종합설계1/2 |
| 9 | 나노반도체융합센터 | 창보센터 107호 및 부속실험실 |
MOCVD/MPCVD/CVD/HVPE/Photolithography/Fab설비 등 | 반도체소자실험, 종합설계기획, 종합설계1/2 |
| 10 | 미래융합기술연구소 | P동 101호 클린룸 |
반도체공정설비, 반도체증착설비 | 반도체공정실습, 종합설계1/2 |
| 11 | 태양광실습실 | P동 104호 클린룸 |
MOCVD, ID wafer, 박막증착설비 | 태양광공학, 종합설계1/2 |